水蒸汽噴射真空泵
　　一、含義
　　是利用水蒸汽射流抽氣的真空泵，簡(jiǎn)稱噴射泵。具有啟動(dòng)快，工作壓力范圍寬，抽氣量大，能直接排入大氣，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，因無運(yùn)動(dòng)構(gòu)件而運(yùn)行可靠，使用期長(zhǎng)等特點(diǎn)。
　　二、優(yōu)點(diǎn)
　　結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，易于維護(hù)；性價(jià)比高，適用于制造成本敏感的應(yīng)用；高排氣速率，適用于短周期、高速氣體排放；免油的設(shè)計(jì)，不會(huì)污染、損壞或影響氣體質(zhì)量。
　　三、應(yīng)用
　　水蒸氣噴射真空泵已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、食品及半導(dǎo)體類行業(yè)。具體應(yīng)用領(lǐng)域包括制造高純度半導(dǎo)體材料、太空模擬器件和檢漏器，以及排放揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)等場(chǎng)合。
　　四、工作原理
　　利用高速的蒸汽噴射將氣體抽出，從而形成真空。有一定壓強(qiáng)的工作, 蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速（蒸汽的勢(shì)能轉(zhuǎn)變?yōu)閯?dòng)能）以超音速噴入混合室，與被抽介質(zhì)混合，進(jìn)行能量交換，混合后的氣體進(jìn)入擴(kuò)壓器，減速增壓（動(dòng)通轉(zhuǎn)化為壓強(qiáng)能），為了減少后級(jí)泵的抽氣負(fù)荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質(zhì)對(duì)流，進(jìn)行熱交換，達(dá)到冷凝高溫介質(zhì)目的，排到大氣壓。
　　連接到生產(chǎn)設(shè)備抽及其氣體、蒸汽或氣體并在泵內(nèi)壓縮到10mmhg左右。繼續(xù)壓縮上述工作介質(zhì)到70mmhg然后排之氣體引往列管冷凝器冷凝。冷凝后的液體進(jìn)入下部水環(huán)泵抽吸，壓縮后往大氣中。